截至6月21日10:31，中证半导体材料设备主题指数下跌0.78%。成分股方面涨跌互现，概伦电子领涨5.04%，南大光电上涨3.82%，中微公司上涨0.72%；中晶科技领跌6.51%。半导体材料ETF(562590)下跌0.55%，最新报价0.9元，盘中成交额已达340.05万元，换手率5.35%。

规模方面，半导体材料ETF近1周规模增长445.21万元，实现显著增长，新增规模位居可比基金1/4。

资金流向数据方面，主力资金继续加仓半导体材料设备龙头，中微公司在6月20日获得1.01亿元流入，北方华创获得8500万元流入。

在当前背景下，半导体材料的投资具备极高的配置价值。半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357）紧密跟踪中证半导体材料设备指数，指数中半导体设备（50.9%）、半导体材料（18.8%）占比靠前，合计权重超70%，充分聚焦指数主题。年初至今，半导体材料ETF（562590）份额增长率达到150%，体现投资者对这一板块配置信心。