GB/T 43885-2024 英文版/外文版/翻译版 碳化硅外延片
GBT 43885-2024 英文版/外文版/翻译版 碳化硅外延片
1 范围
本文件规定了碳化硅外延片的产品分类,技术要求,试验方法,检验规则及标志,包装,运输与贮存。
随行文件和订货单内容。
本文件适用于在导电型碳化硅衬底上,生长碳化硅同质外延层的外延片,产品用于制作碳化硅电力电子器件。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件:不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。GB/T 2828.1-2012 计数抽样檢验程序 第1部分,按接收质量限(AQL,)檢索的逐批检验抽样计划
GB/T 6624 硅抛光片表面质量目测检验方法
GB/T 14146 硅外延层载流子浓度测定，电器-电压法
GB/T14264 半导体材料术谱
GB/T 19921 硅抛光片表面颗粒测试方法
GB/T 29505 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
GB/T 30656碳化硅单晶抛光片
GB/T32278碳化硅单品片平整度测试方法
GB/T 39145硅片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法
GB/T 42902碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法
GB/T 42905 碳化硅外延层厚度的测试红外反射法
YS/T 28 硅片包装
3 术语和定义
GB/T 14264 界定的术语和定义适用于本文件。
4 产品分类
4.1 碳化硅外延片按外延层导电类型分为n型和p型，n型外延层载流子元素为氨,p型外延层载流子元素为铝。
4.2 碳化硅外延片按直径分为76.2mm,100.0 mm,150.0 mm,200.0 mm 等类型。
4.3 碳化硅外延片按品型分为4H和6H。
5 技术要求
5.1 总则
碳化硅外延片合格质量区(FQA)的边缘去除要求符合表1的规定。
表1 边缘去除区
5.2村底材料
碳化硅外延片用衬底材料应符合 GB/T30656的规定。衬底片的技术要求由供方保证,如有需求可由供方提供检测值。
5.3 缓冲层
p型碳化硅外延片一般无缓冲层要求。n型谈化硅外延片缓冲层的导电类型是n型,其载流子元素为氨，具体要求应符合表2的规定。
5.4 外延层
5.4.1 载流子浓度
碳化硅外延片的外延层载流子浓度及其允许偏差和径向载流子浓度变化应符合表3的规定。表3 外延层载流子浓度及其允许偏差和径向载流子浓度变化
5.9 表面金属
碳化硅外延片表面各金属杂质离子含量均应不高手】x10"atoms/em'。5.10 其他
如需方对产品技术指标有特殊要求,自洪需双方协商确定并在订货单中注明。
6试验方法
6.1 碳化硅外延片的缓冲层浓度测试按 GB/T 14146的规定进行,碳化硅外延片的缓冲层厚度测试按GB/T 42905 的规定进行。
6.2 碳化硅外延片的外延层载流子浓度测试按 GB/T 14146 的规定进行。碳化硅外延片的外延层载流子浓度为所有测试点的载流子浓度平均值,按公式(1)进行计算，
6.10碳化硅外延片表面颗粒的检测按 GB/T 19921的规定进行。
6.11硕化硅外延片表面粗糙度的检测按 GB/T 29505的规定进行,
6.12碳化硅外延片几何参数的检测按GB/T 32278的规定进行,6.13碳化硅外延片表面金属的检测按 GBT 39145的规定进行。
7 检验规则
7.1 检查和验收
7.1.1 产品应由供方或第三方进行检验,保证产品质量符合本文件及订货单的规定。7.1.2 需方可对收到的产品进行检验。若检验结果与本文件或订货单的规定不符时,应在收到产品之日起3个月内以书面形式向供方提出,由供需双方协商确定。
7.2 组批
产品应成批提交验收,每批应由相同规格的碳化硅外延片组成。
7.3 检验项目
7.3.1 每批产品应对外延层载流子浓度,外延层厚度,品格完整性、表面质量,表面粗糙度,几何参数和表面金属进行检验。
7.3.2 每批产品缓冲层的载流子浓度及厚度是否检验由供需双方协商确定。
7.4 取样
7.4.1 每批产品非破坏性檢测的项目检测按 GB/T 2828.1-2012一般检查水平Ⅱ,正常检查一次抽样方案进行,或按供需双方协商的抽样方案进行。
7.4.2 每批产品的表面金属检測按 GB/T 2828,1-2012特殊檢查水平 $2,正常检查一次抽样方案进行,或按供需双方协商的抽样方案进行。
7.5 检验结果的判定
7.5.1 产品导电类型,晶型由供方保证,如需方抽检有任一片不合格,判该批产品为不合格。
7.5.2 产品其他检验项目的接收质量限(AQL)应符合表 10 的规定。
表10 检验项目及接收质量限
7.5.3 抽检不合格的产品,可对不合格项进行逐片检验,除去不合格品后,合格品可重新组批。
8 标志、包装、运输、贮存和随行文件
8.1 标志、包装
8.1.1 包装箱外应有“小心轻放”“防腐防潮”“易碎"字样或标记,并注明:
a) 需方名称;b) 产品名称:c)产品数量;d) 供方名称。
8.1.2 碳化硅外延片的包装按 YS/T 28的规定进行,或由供需双方协商确定。
8.2 运输、贮存
8.2.1 产品在运输过程中应轻装轻卸,勿挤勿压,并有防震措施。
8.2.2 产品应贮存在洁净、干燥的环境中。
8.3 随行文件
每批产晶应附随行文件，其上注明:
供方名称:
产品名称和产品规格:
产晶批号;
产品数量:
碳化硅衬底片生产厂家及主要技术参数:
各项检验结果及检酸部门印记
检验和审核人员的鉴字:
生产日期:
本文件编号:
其他。
9订货单内容
需方可根据自身的需要,在订购本文件所列产品的订货单内,列出以下内容，
产晶名称:
产品规格:
数量:
本文件编号:
其他。