真空设备中常用的质量流量控制器

质量流量控制器的应用非常广泛，用于实验室各种研究及实验，也被分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气相色谱仪，光导纤维制造设备中以及真空设备，如真空镀膜、冶金、化工、电子封装等。在真空环境中进行的各种应用。

质量流量控制器的主要作用是对气体或液体的质量流量进行精密测量和控制。这种控制器通过自动调整阀门开度来稳定和调节流体的流速和流量，确保流量维持在用户设定的范围内。在真空设备中，在应过程中控制气体的流量，保证反应效果稳定和高效.。质量流量控制器还具有自动化操作、流量保护、数据采集和记录等功能，能够实时监测和控制流体的流量，确保其在设定的范围内，同时，许多控制器还具有自我诊断功能，有助于及时发现和解决潜在问题。

LF系列质量流量控制器采用热式原理、气体的质量流量不受环境温度及压力的变化而变化。管状分流原理，便于更改量程，安装简易。良好的传感器封装，减少外部温度变化的敏感性。测量和控制的量程范围大，最大满量程可达30ln/min。预热时间短、零飘小、测量和控制精度高。可通过二次仪表或者PLC与仪表进行通讯，操作简单。以提高质量和生产效率。