散英魂寄千万雄鹰翱翔神州,
尽智魄载十亿慧芯呼唤华夏。
——《国务院给予江上舟同志挽联》
01
前沿导读
台积电前副总裁、浸润式光刻技术的发明人林本坚在一次访谈中说到:
美国的学生,他没有被家长逼着还是怎么样的,他去学的东西是他真正感兴趣的东西。不会在学习期间还需要恶补其他东西,所以他有很多时间去注意周围的事情,解决周围的问题,去追求他喜欢的这些东西。
这些美国孩子在念书的时候,他可以选择喜欢念的学科,不受社会压力、不受家长的压力。在国内,你念一个冷门的学科,大家会用异样的眼光看你,觉得你怎么怎么样。我想在美国,就没有这个问题。
02
林本坚的技术
林本坚的话并不是毫无章法地乱说一通,而是他亲身经历的事情。林本坚是浸润式光刻技术的发明人,也就是DUV光刻机技术的核心发明人。
他在13岁的时候,母亲送给他一台相机,于是林本坚便对光学领域产生了浓厚兴趣。他考上了台湾大学电机系,随后去到美国的俄亥俄州立大学,攻读到了电机工程系博士学位。
他在完成学业之后,给柯达公司递交简历,但是柯达没有回应。他来到了IBM公司,在IBM公司负责半导体的光学技术研发。
后来林本坚离职,蒋尚义邀请他加入台积电。于是林本坚从美国回到了台湾,加入了台积电。
在光刻机进入193nm的工艺之后,达到了技术瓶颈,无法再次向下发展。要么想办法降低曝光尺寸,要么想办法在制造的时候加入介质,缩短波长。
这时候,林本坚开创了一个新技术。
他将水作为介质,光线照射到水里面之后会产生折射,理论上来说,折射之后193nm的光线波长,可以缩短到134nm,这样就可以突破193nm的技术瓶颈。
这项新技术被命名为“浸润式微影技术”,林本坚拿着新技术找大企业合作,美国、德国、日本、韩国全部将他拒之门外。
日本的尼康曾经还联合美国硅谷团队,打算走之前的路线,降低曝光尺寸,强行突破技术瓶颈。但是这样一来,整个产业链都会被牵动,设备材料需要全部推倒重来,工程量巨大,尼康也不敢轻举妄动。
至于林本坚的新技术,尼康也是处于观望的态度,大企业都解决不了的问题,他一个台积电的员工能解决?
台积电内部相当看好林本坚的技术,在蒋尚义的帮助下,台积电找到了asml,两家企业进行了新技术合作。
一年以后,asml的浸润式光刻机宣布研发完成,并且投入生产线工作。而同期的尼康,刚刚完成了157nm光刻机的研发。
asml凭借着先进的技术设备,获得了国际巨头企业的认可,英特尔、三星、IBM等大企业纷纷采用asml的光刻机作为工厂的主要制造设备。
林本坚成为了这场技术发展的核心人物,他带领台积电和IBM的研发团队,继续向下发展,将浸润式光刻机的精度一路下探到7nm。直到极紫外线的EUV光刻机到来,才替换掉了林本坚开创的浸润式技术。
03
国内外的技术教育
林本坚可以成为全球光刻技术领域的突破人之一,得益于他从小对光学技术的兴趣,以此来支撑着他在光学领域不断的开创新技术。
曾经有官方媒体采访过林本坚,询问他如何看待现如今的中美科技展,中国大陆在未来能否赶超国际水平等话题。
林本坚回答道:
我觉得大陆这边是有很多很好的先天条件,第一就是有市场、有机会,只要你做得好,有机会做很多芯片,有量。然后是有人,有很多人才,有很多学校,这些都有了。但是你怎么样让他们觉得半导体很重要?因为现在的年轻人都要做很多别的事情,这些都是要去努力的。
他的意思说的很清楚,那就是国内有未来的人才,也有高水平的教育学府,但是这些学生和学校,对于半导体领域并没有太过于重视,还是希望在大学里面选择一些好就业的专业学习。
林本坚在采访中还提到了创新两个字,要保持好奇心,拥有创新的心态。在生活中遇到了困难,要积极想办法解决。如果你觉得这个问题很重要,自己有能力解决,那么你就要花点时间去解读它。
创新的过程中不要闭门造车,多吸纳一些其他人的好意见,跟别人一起讨论商量,彼此会看到大家的缺点,看到改进的地方。每个人看待问题的思路都不一样,将这些思路合并在一起,会是产生一个很有力量团队。
包括前段时间,长江存储的董事长陈南翔也说过,中国在发展集成电路的过程中,走了许多弯路。我们本来是打算发展产业,但是以往都把这种技术交给大学、研究院之类的科研单位进行发展,都将这个产品做成了一种学术性的东西。而现在谈的是整个产业,是做出来的产品,需要对以往的模式进行创新,要带来商业价值。
技术是要拿出来用的,不是拿出来写在本子上面纸上谈兵的。
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