日前业界消息传出，因持续加码2nm等最先进制程相关研发，加上2nm后续需求超乎预期强劲，台积电明年资本支出或可达320亿~360亿美元，年增12.5%~14.3%，为历年次高。

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法人评估，台积电2025年资本支出恢复小幅年增，估计不影响季度配息。

在今年4月份的法说会中，台积电表示，资本支出和产能规划主要是考虑长期的结构性市场需求，预估今年资本支出将介于280亿~320亿美元；2nm将于2025年量产。

台积电正在积极安装对于先进工艺至关重要的EUV光刻机，以应付2nm工艺的量产，今年和明年将接收超过60台EUV光刻机，投入的资金额超过4000亿新台币（约合123亿美元/人民币894亿元）。