8月31日早盘，A股三大指数集体飘绿，截至13:08，上证指数跌幅0.17%，深证成指跌幅1.01%，创业板指跌幅1.25%。在市场震荡调整的背景下，半导体板块亦承压运行，半导体设备ETF国泰（159516）标的指数飘绿，跌幅达2.36%。尽管日内行情波折，但资金面却呈现出逆势布局的态势。最新数据显示，该ETF已连续2日资金净流入，期间合计净流入金额达13.00亿元，近30日资金净流入更是高达50.06亿元，显示出资金对半导体设备赛道长期投资价值的认可。
从行业基本面来看，AI驱动的产业浪潮正持续提振半导体设备需求。随着人工智能技术的快速发展，算力基础设施建设和设备上行周期成为市场关注的核心主线，半导体设备作为产业链上游的核心环节，其景气度有望得到持续验证。
在投资价值方面，广发证券报告指出，CD-SEM是前道制造中用量最大、覆盖面最广的核心电子束量测设备品类，随着制程节点向7nm及以下演进，传统光学量测在分辨率和局部结构识别上的局限性日益凸显，CD-SEM凭借亚纳米级电子束成像能力，成为光刻-刻蚀闭环控制中不可替代的尺寸标尺。此外，中微公司2026H1实现营收66.91亿元，同比+34.89%，实现扣非归母净利润11.23亿元，同比+108.36%，其26H1期间费用率为27.63%，同比-2.12pct，研发投入力度持续加大的同时费用率下降，反映规模效应显现。头部公司业绩的高增及规模效应的释放，进一步印证了当前半导体设备板块的成长潜力。
半导体设备ETF国泰（159516）紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，该指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。前十大成分股汇聚了中微公司、北方华创、长川科技、拓荆科技、华海清科等半导体产业链核心企业，具备较高的投资代表性，为投资者高效布局半导体核心资产提供了便利的工具。
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