前言:本文以芯片工作和制造过程的原理为主,都是最基础的知识,估计80%的读者能够看懂本文。
我们现在使用的电脑和手机、电视、冰箱、洗衣机等家电,和工厂中的全部机器和设备中的控制系统,如果我们把它拆开,都会看到类似下面这样的印制电路板,印制电路板上有多个电容、电阻、电感等电子元器件,注意下图的黑色的方形元件。
印制电路板
将印制电路板放大,中间黑色的方形元件这就是我们常说的芯片。
印制电路板上的芯片
芯片是什么?芯片其实是半导体元件产品的统称,不太严格的说集成电路就是芯片。芯片是包含了一个或多个集成电路的、能够实现某种特定功能的通用半导体元件产品。
我们看到的芯片需要通过一个叫“封装”的制作步骤,装到一个外壳里保护起来。芯片可以做到很小,比手指间还小得多。
芯片可以做到很小
1-芯片的基本构造:
芯片的构造如下图
我们把封装的外壳拿掉,才能真正看到芯片的内部核心,用显微镜放大。
上图中,外围一圈像斑马线的,是引脚(针脚)。而分散开来的细细的线,是引线。中间方形的部分,才是芯片真正的电路,是芯片的核心部分,我们将其继续放大来看。
密密麻麻的似乎有点不明所以,换成3D图形,原理如下。
从上图中芯片的 3D 剖面图来看,底部深蓝色的部分就是晶圆。红色的部分是逻辑闸层,即晶体管,它是整颗个芯片中最重要的部分,将多种逻辑闸组合在一起,完成功能齐全的 芯片。黄色的部分都是连线,功能是将红色部分的晶体管连接在一起,起到数据传递的作用。
2-芯片的工作原理:
芯片的基本组成元素即半导体PN结,一个由半导体材料硅作为基片,采用了不同的掺杂工艺,在硅中掺杂了其它元素,形成了P型半导体(掺杂硼)和N型半导体(掺杂磷),二者的交界面形成的空间电荷区称为PN结。PN结具有单向导电性,只能P型接正极,N型接负极,才可以导电;反之无法导电。
当我们将若干PN结组装在一起形成晶体管后,晶体管可以实现电信号的放大和开关等作用。我们再将若干晶体管组合在一起就可以实现一定的逻辑门“与”、“或”、“非”(见下图),这些逻辑门最终输出的结果就可以转化为二进制的数字信号“0”和“1”。
半导体PN结、逻辑门的原理,这是电子技术的入门知识
通过电信号控制晶体管里面的开关,进而控制电路的通断。一秒内实现开关几百万次甚至更多,产生大量的0 和 1,转化成二进制进行计算、存储等,以上就是芯片实现计算、逻辑、存储等的基本原理。
晶体管原理图
芯片里的晶体管的结构由栅极、源极、漏极、半导体硅晶圆衬底等构成。工作原理:栅极类似于控制“按钮”,当我们给栅极加一个电压,源极和漏极就会导通,电子就可以通过。电压消失,通道也跟着消失。
3-芯片制造流程大致是,提炼和制作晶圆—制作掩膜版—光刻—刻蚀—离子注入—镀铜 —测试和封装,接下来逐一介绍芯片的制造过程:
3-1制作晶圆:
3-1-1提炼沙子,制成多晶硅:芯片制造的第一步是从沙子开始的,这种沙子硅含量很高的硅石,主要成分和沙子一样是二氧化硅,经过熔炼得到纯度约为98%-99%的冶炼级工业硅。然后进一步提纯,可以得到硅纯度可以高达99.999999999%的多晶硅,一共11个九的硅棒。
提炼沙子,制成多晶硅
3-1-2制作单晶硅:我们的芯片需要的是晶格均匀、连续、电学性质稳定的单晶硅,因此要把多晶硅棒,制作成镜面的单晶硅,目前主流制法采用柴克拉夫斯基法。具体做法见下图(流程从左到右),加热熔化高纯度多晶硅,形成硅溶液。然后将一条细小的单晶硅作为引子进入硅溶液,再缓慢地向上旋转提拉,被拉出的硅溶液,因为温度梯度下降会凝固成固态硅柱。
制作单晶硅过程
这个过程有点像将将火腿肠放入加热的蜂蜜中,然后取出火腿肠,蜂蜜就凝固在火腿肠上。成型的硅柱尺寸越大,最终切割成的硅片尺寸也就越大,同一晶圆上可生产的集成电路就越多。
3-1-3制作晶圆硅片:硅柱后续被切割成圆片,然后再进行磨光、研磨、抛光、清洗等工序,最终得到厚度小于1mm的硅片。我们经常看到的8寸、12寸,也就是晶圆片的直径尺寸,尺寸越大对技术要求越高,整体的芯片制造成本越低。
3-2 光刻技术:
3-2-1第一步,先准备好光刻掩膜版。
光刻掩膜版简称掩模,是光刻工艺所使用的图形母版,是采用微纳加工技术制作的,掩模上承载有设计好的微电路图形,光线透过它的镂空部分,把设计图形透射在光刻胶上。掩膜版的作用类似于照相中的底片,或者像印钞机中钞票的母版。
掩膜版
芯片的光刻工艺精度越高,则掩膜版层数的越多,这是因为使用一层掩膜版曝光转移图案不够清晰,多曝光几次图案就更加清晰。制作40nm(纳米)的芯片时,转移图案的过程中,需要使用到40层左右的掩膜版;到了14nm的时候,会使用到60层的掩膜版;而到了7nm,至少需要80层的掩膜版。
掩膜版透光原理
3-2-2第二步,晶圆硅片上涂光刻胶。
首先按照a图在晶圆硅片表面涂上一层光刻胶,再按照b图烘干。光刻胶是能把光影化为实体的一种胶体,只要被特定波长的光照射就会疲软,可以被溶解和清除。光刻胶的作用有点类似于的照相技术中的胶卷。
晶圆硅片涂上光刻胶,烘干
3-2-3第三步,最为关键的光刻工艺。
将硅晶圆放置在在光刻机上,光线透过掩模上的镂空部分(即事先设计好的电路图),把掩模上的图形投影在晶圆表面的光刻胶上,实现曝光,激发光化学反应。对曝光后的晶圆进行第二次烘烤,使得光化学反应更充分。最后,把显影液喷洒到晶圆表面的光刻胶上,对曝光图形显影,于是掩模上的图形就被存留在了光刻胶上。
光刻工作原理
光学透镜的作用是:可以聚集衍射光提高成像质量,在光刻技术中为得到尽可能小的图案,在掩模板和光刻胶之间采用了一种具有缩小倍率的投影成像物镜。
上述过程后,没有被掩模遮挡的光在显影液作用下会使硅晶圆上的光刻胶脱落,就是我们需要的电路;而硅晶圆上被掩模遮挡光线的部分,光刻胶会遗留在硅晶圆表面,能起到保护硅晶圆的作用,这就是刻蚀过程。
在整个光刻工艺过程中,涂胶、烘烤和显影都是在匀胶显影机中完成的,曝光也是在光刻机中完成的。匀胶显影机和光刻机一般都是联机作业的,晶圆通过机械手在各单元和机器之间传送。整个曝光显影系统是封闭的,晶圆不直接暴露在周围环境中,以减少环境中有害成分对光刻胶和光化学反应的影响。
光刻工艺可以通俗一点的解释:光透过掩模,经过透镜聚焦,将掩模上的图案缩小到纳米级别投影在硅晶圆中,形成电路,这类似于我们拍摄照片的过程;而光刻工艺中的刻蚀过程,有点类似于我们冲洗照片的过程。
3-3 离子注入:
光刻完成后,在硅晶圆的不同位置加入不同的杂质,不同杂质根据浓度/位置的不同就组成了场效应晶体管。我们在离子注入机中,将硅晶圆中植入离子,生成相应的P型半导体(掺杂硼)、N型半导体(掺杂磷)。为此也要先进行光刻,把不想注入离子的区域用光刻胶贴膜保护。
具体工艺是从硅片上暴露的区域开始,放入化学离子混合液中。这一工艺将改变搀杂区的导电方式,使每个晶体管可以通、断、或携带数据。简单的芯片可以只用一层,但复杂的芯片通常有很多层,这时候将该流程不断的重复,不同层可通过开启窗口联接起来。
3-4 电镀:
在等离子注入之后,并稳定下来形成晶体管之后,还会有一道工序,就是镀铜,在硅基表面涂上一层铜。而在镀铜之后,再次通过光刻、刻蚀等动作,将镀上去的这一层铜切割成一条一条的线,这些线是按照芯片设计电路图有规则的把晶体管连接起来的。
芯片镀铜
而芯片的电路图可能有几十层,所以这样的过程也会重复几十次。
3-5 封装、测试、包装:
将制造完成晶圆固定,绑定引脚,按照需求去制作成各种不同的封装形式,这就是同种芯片内核可以有不同的封装形式的原因。
经过上述工艺流程以后,芯片制作就已经全部完成了,将芯片进行测试、剔除不良品,以及包装。
封装后的成品芯片
4- 芯片制造的最大难点:
我们常常说的芯片纳米是指制造芯片的制程,即晶体管电路的尺寸,单位为纳米(nm)。
从上面芯片制造流程看,光刻、刻蚀、离子注入、镀铜这四个最重要的工艺流程,都是在光刻机上完成的。光刻机的精度决定了芯片中晶体管的大小,光刻机的精度越高,制造出的芯片晶体管越小,硅晶圆中的晶体管数量就越多,数据存储量就越大。
一块芯片中包含了至少上百亿个晶体管
不仅如此,作为芯片投影用的母版,掩膜版的制造和芯片光刻流程很相似都要经过光刻工艺,但比芯片的光刻工艺更难,也是要在板子上涂上光刻胶,然后用激光或电子束显影,最后再进行刻蚀,显出电路图形来。
光刻工艺是芯片制造中最核心的工艺
目前国内自主研制的光刻机只有90nm的制程,而荷兰ASML制造的最先进EUV光刻机波长已经达到13.5nm,可以做7nm、5nm、3nm、2nm、1nm制程的芯片。
光刻机基本原理
ASML可量产最新的 EUV 光刻机,售价高达1.2亿美元一台,最先进的EUV光刻机,单台设备超过10万个零件,4万个螺栓,3000多条线路,软管加起来就有两公里长。设备重180吨,单次发货需要动用40个货柜,20辆卡车以及3架货机才可以运完。同时将这些零件组装起来需要1年时间,后续的参数设置,模块调试时间又更长。
ASML的 EUV是世界上最先进的光刻机
像三星、台积电等芯片巨头进入10 纳米制程后的难点是, 1 颗原子的大小大约为 0.1 纳米,在 10 纳米的情况下,一条线只有不到 100 颗原子,在制作上相当困难,而且只要有一个原子的缺陷,像是在制作过程中有原子掉出或是有杂质,就会产生不知名的现象,影响产品的优良率。
目前国产芯片制造状况:
1)就像前面所说的,我们和世界先进制造水平差距最大的,还是光刻机的母机制造。
2)作为原材料,国产硅晶圆技术已经比较成熟,可以生产各类规格的晶圆,中国已经从高纯度硅晶圆进口国变成了出口国。
3)作为电路母版,掩膜版的国产化率目前较低,主要集中在350nm~180nm掩膜版的生产制造,而40nm以下的高端掩膜版基本上被日本和美国企业所垄断。
4)光刻胶作为耗材,也是被日美等少数厂商所垄断,但是今年4月份国内科研团队刚刚取得了技术上的重大突破,期待能早日量产,缩小差距。
5)也有好的一面,我们的芯片封装技术已经达到4nm的世界先进水平,且多个国内厂家均能量产。
5)最重要的成品芯片纳米制程,目前全世界最先进的是台积电和三星的5nm量产芯片技术,在落后多年的情况下,2024年中国全面突破技术封锁,华为麒麟9000s的实现了7nm的量产工艺。
我们的日常家电、工控机和汽车上的中低端芯片的制造相对容易些,但是计算机服务器、手机、航空飞行器、火箭、卫星等不仅有很高的技术要求,还受到空间限制,这些高端芯片要求具有体积小、存储空间大、运算速度快等特点,目前正向3nm技术发展,这对我们提出了更高的要求。
北斗卫星上的宇航级芯片,价格高达900万人民币
从沙子到芯片的复杂制造过程,十分复杂,一个指尖大小的芯片里面容纳了几百亿~几千亿个晶体管,这本身就是一件不可思议的技术奇迹。而芯片制造中涉及到半导体技术、电子技术、微电子技术、光电技术、纳米技术、化工冶炼、微加工技术、薄膜制备技术、封装测试技术......等多门类技术,是一个国家科技实力的综合体现。
路漫漫其修远兮,吾将上下而求索。虽然我们的很多技术目前相对落后甚至还受制于人,但我们相信在未来十年之内,中国的芯片技术一定会迎头赶上。
希望我们的芯片制造像我们的高铁技术一样,未来取得令人叹为观止的飞速进步
后记:本文之所以以芯片技术原理为主要内容,而不是一味的对比国内外技术差距,不仅是要让更多的人具备基本常识,更主要的是帮助大家投入到爱国主义的实际行动中,而不是停留在空喊口号的阶段。
这和三十年前一样,我们谁都不曾预料到中国目前的基建和重装制造已经领先全球,那么我们的芯片产业,未来也是充满了希望的。