美国持续加码光刻机出口管制禁令,不仅在2023年10月要求荷兰限制ASML最后一款浸没式DUV光刻机NTX:1985Di光刻机出货,如今又开始向荷兰、ASML施压,要求ASML停止向中企提供光刻机售后服务,不过让人没有想到的是,ASML对此已经正式回应。

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在光刻机出口管制这个问题上,ASML其实一直都是在反对的,毕竟中国市场如今对于光刻机的旺盛需求是有目共睹的,同时也成为了ASML第二大海外市场。甚至可以说ASML能够在2023年取得10%的营收增长,其中很大一部分也与中国客户的旺盛需求有关。

只不过,ASML很难违背光刻机出口管制禁令出货。一方面荷兰已经正式限制了浸没式DUV光刻机和EUV光刻机的出货,ASML在1月初也撤销了出货许可。另一方方面,ASML的光刻机当中其实使用了不少美国技术,例如EUV光刻机最重要的极紫外线光源技术,就是美芯企业英特尔带头研发出来的。

不过,面对美国要求停止向中企提供光刻机维修服务,ASML也已经明确表态:公司没有理由不为已经出售给中国客户的设备提供服务。与此同时,荷兰首先吕特在此前访华的时候也表示:将会尽量降低光刻机尽量带来的影响。

对于ASML来说,限制维修服务可不仅仅意味着将会进一步失去中国市场,更意味着ASML将要面对中企是诉讼。维修服务是明确写在购买协议当中的,如此大规模的停止维修服务提供,ASML必然是会被中企提起诉讼的。

更何况,这件事情本身也没有什么太大的争议,诉讼的结果也很明确,那就是ASML要对这些中企进行赔偿。赔偿的方式无非就是回购或者直接资金补偿,如果ASML拒绝执行,那么其在中国大陆的专利将不再收到保护。

更何况对于ASML来说,这种行为明显是在损害自身的商业信誉,随着尼康、佳能在半导体设备领域的快速发展,AML的市场地位原本就受到了威胁,如今再出现这回事,之后ASML在其他市场的市场份额也将会受到影响。

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对于ASML来说,除非荷兰颁发了相关禁令,否则肯定不可能限制维修服务提供。可是如今ASML打算撤离荷兰的消息也已经传出,荷兰本就在尽力挽留ASML,自然不会在这种时候限制其维修服务。如果荷兰真的这么做了,那么恐怕也只会坚定ASML从荷兰撤离的信心。

在多种因素的影响之下,美国想要实现限制半导体设备维修服务,恐怕是不太可能的事情了。更何况,除了荷兰之外,另一个限制了光刻机设备出货的国家日本以及日本设备厂商尼康、佳能对此也进行了回应。

日本方面表示不愿意继续跟进光刻机出口管制,其中就包括了对维修、零部件服务的提供。尼康则是表示自己要加强技术自研,打造出不需要美国技术参与的光刻机设备。尼康这是直接想要绕开出口管制禁令出货,自然也不可能跟随美国进一步限制了。

从目前的情况来看,美国的这一目标估计是很难达成了,无论是ASML还是日本的尼康、佳能都是同样的态度。甚至在这种情况之下,美国想要维持光刻机出口管制都越来越困难了,ASML在持续出货其他光刻机,尼康和佳能也在从技术层面入手。

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