7纳米EUV光刻机又迭代了

2024年3月12日，光刻机龙头厂商ASML宣布第一代0.33数值孔径的EUV光刻机的最新型号NXE:3800首台安装成功！

那么，这个NEX:3800是什么来头呢？今天，我们就简单聊下！

光刻机迭代了这么多，你是不是只知道一个“28纳米DUV光刻机”呢？

其实呀，“28纳米光刻机”只是20年前的DUV浸没式光刻机的最初版本。目前，这个版本的DUV光刻机已经迭代到NXT:2100了。

而第一代EUV光刻机，也就是我们常说的“7纳米EUV光刻机”，在量产阶段也已经迭代了很多型号了，包括：

NXE:3100, NXE:3300, NXE:3400, NXE:3600。而3月12日刚刚在晶圆厂完成安装的NXE:3800就是这个7纳米EUV光刻机的最新型号。

这些型号是配合顶尖晶圆厂的制程，在成熟的工业链上一代又一代升级出来的产物。

而2023年12月，ASML已经供给美国英特尔的属于第二代高数值孔径EUV光刻机，也就是我们通俗一点的“2纳米EUV光刻机”。它的试产型型号是NXE:5000。而未来的2纳米EUV光刻机就是在这个型号上逐渐优化迭代的。

这里我们就没有讨论ASML更早的光刻机产品了，就以上所说的“28纳米DUV光刻机”、“7纳米EUV光刻机”、“2纳米EUV光刻机”，都是随着时间不短的迭代更新升级的，比如光学精度、光源功率、机台精度等等，所以并不是说出了一个所谓的“28纳米光刻机”，就能完成ASML的最新型号的功能和制造能力的哦。

我们下次见！