光束整形是一种非手术的美容方法,使用强大而精确的激光技术来改善皮肤的质量和外观。这种技术对于多种皮肤问题都具有治疗效果,例如痘疤、色素沉着、红血丝、细纹和皱纹等。

但你知道光束整形对于光学元件有哪些要求和方法吗?

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光束整形

一:半导体晶圆检测中需要用到激光线发生器光学元件

使用DUV波长的激光线进行晶片缺陷检测,要求非常严格,通常必须生成很长的激光线(> 10mm),同时保持线内< 10 μm的窄幅和良好的均匀性。对于暗场显微镜,需要以掠射角将射线投射到晶片上,同时在较大的激光线长度上仍然保持紧聚焦。通常无法通过单个衍射光学元件(如激光线扩散器)生成这种激光线,因为它们会对单模激光器产生散斑,而多模激光器不能聚焦到具有合理聚焦深度的紧线上。

这种类型的性能要求采用高精度的激光束整形光学元件,创建一条具有所需边缘锐度、均匀性、宽度和长度的激光线。这种精度通常可以通过衍射光学元件或自由形式的光学元件来实现。

二:晶片缺陷检测中的激光束整形方法

激光线发生器光学元件要求严格,提出了若干种可能的解决方案,以解决光束整形行业面临的挑战,所有这些方法都要求采用衍射或自由形式折射光学的多元件系统。

对于在10-20毫米长度范围内激光线的典型情况,单模DUV激光器可提供足够的能量来进行探测。在这种情况下,需要进行多元件平顶光束整形,其中,系统中的第一个元件产生激光线,而类似于衍射光学透镜的最后一个元件则用于准直激光线,进行快轴和慢轴方向的聚焦。

对于通常大于50毫米的特别长的激光线,很少使用具有高激光功率的单模DUV激光器。因此,必须使用多模激光器,需要M2因子变换才能聚焦到一条窄线上。这可以通过衍射解决方案来实现,例如LeanLine,与激光线漫射器结合,以产生良好的均匀性。

或者,可以使用激光线分束器衍射光学元件,产生强度相等的焦点线。该焦点线沿径向对晶片进行扫描,以较低的激光功率实现高分辨率的缺陷检测。比较权衡的方法是降低扫描速度,因为在任意给定时间内成像的区域明显变小。

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图源holoor.cn

三:光束整形需要注意什么?

尽管光束整形带有许多好处,但是在进行任何形式的美容治疗之前,患者都应该考虑到其风险和不确定性。例如,有些人可能会对激光过敏,或者可能会出现一些长期的不适,如疤痕或色素失调。因此,在选择光束整形作为自己的美容方法之前,患者应该咨询专业医生,了解他们的医疗史和任何可能的风险,以及确定是否是适合进行该种技术的人。

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光束整形器元件

我们Holo/Or公司,在光束整形器元件,晶片检测和计量方面拥有多年的经验,我们非常高兴为您提供支持。