在3月初中荷负责人会面时,荷兰还信誓旦旦的表态:“两国在半导体领域的合作要珍惜,在具体项目的合作上会有自己的判断!”

没曾想还不到十天的时间,荷兰就开始变卦了,以“安全问题”为由,拒绝了继续向中企提供DUV光刻设备,目前新规已经递交给相关部门,预计将会在今年夏天正式开始实施。

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显然荷兰已经选择“站队”老美了,仅仅在十天的时间内,态度就发生了如此大的反转,直接让ASML二十余年的努力“白费”了,这意味着什么呢?中企的14nm工艺要被“锁死”了吗?

ASML的发声

在荷兰官方给出态度之后,ASML的无力感“喷涌而出”,也无法继续再“硬刚”老美了,只能在全新的规则下寻找漏洞,紧急回应:“浸没式光刻机需要获取授权,但并不包含所有的设备,相对成熟的设备不在限制范围内,是可以满足特定客户的需求!”

而这句话显然是对中企说的,ASML目前的业务核心主要分为EUV和DUV两个板块,在《瓦森纳协议》签订后,EUV光刻设备就和中国市场绝缘了,只能出售给特定的客户,这已经让ASML损失了庞大的市场。

但鉴于中国半导体产业的现状,需求基本集中在成熟工艺设备上,能够保证DUV光刻机设备的出货,也不会存在太大的问题,但随后芯片规则的不断升级,老美开始施压荷兰断供DUV设备,面临大额利益的受损,ASML直接开始了“上蹿下跳”的表演。

还真别说,在一定程度上起到了作用,导致了更为严格的新规实施延迟,而荷兰在老美施压的“三方协议”上也犹犹豫豫,月初的态度和十天后的态度差异太大,这其中肯定存在有“猫腻”的。

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根据ASML的透漏,美日荷的“三方协议”,在一月份的时候就已经达成了,但三个国家却没有放出任何消息,大概率是因为具体事项还没有讨论完成,日本、荷兰都清楚跟进新规意味着什么,但随着荷兰的妥协,日本预计近期也将官宣“站队”。

除了ASML此前透露的“三方协议”消息有限,只说明了存在限制DUV设备的可能,具体的内容并不知道,但日企在深挖过程中,获取到了一定的信息,很可能会影响到“售后服务”,限制运维人员奔赴中国市场。

这对于设备厂商而言,无疑是晴天霹雳,意味着已经出货的设备将受到影响,一旦售后服务跟不上,客户根本就无法对复杂的机体进行维修,这相当于是“一锤子”买卖,显然双方的权益都无法获得保障。

ASML真的没办法了吗?

在ASML给出的声明中,详细描述了整个限制信息,其表态:“并非所有的浸没式光刻机都会受限,只涉及到了TWINSCAN NXT:2000i及以后的先进设备,其它产品是可以正常出货的。”

通过信息源的追溯,也验证了ASML的表态,在TWINSCAN NXT光刻机的整个系列当中,还有NXT:1980Di可以正常出货,根据官网的描述,这款设备可支持38nm芯片制造。

但如今多重曝光工艺已经非常成熟,根据业内专业人士的分析,只要这款DUV设备能够正常出货,是能够支持到14nm芯片生产的,或许还有下探到7nm工艺的可能,但也并非稳妥的,势必会出现良品率低、成本高的问题。

表面上看似保住了中国市场,但很有可能是“三方协议”故意留下的漏洞,虽然能够实现14nm芯片制造,但性能表现肯定不理想,这显然已经达成了锁死14nm工艺的目的。

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但对于ASML而言就没那么乐观了,耗费多年精心布局的中国市场,本来已经到了“收割”的阶段,如今却面临着设备无法出货的窘境,显然20余年的努力都白费了。

原因就在于国产的光刻机已经达到90nm水平,28nm光刻机的核心技术均已实现突破,不排除在未来三年内量产的可能性,全面的封锁势必会推进中企的研发进程,因此留给AMSL的时间不多了。

在华为的带动之下,国内的企业也彻底“警醒”了,开始不断的接受国产供应链,这势必会让国产设备迎来全速发展,摆脱欧美技术垄断已经被当成了目标,对此你们是怎么看的?