集微网消息，集微网根据招标平台数据整理统计，2023年1月，上海积塔、华虹半导体、上海华力、新昇半导体等企业合计招标113台设备。其中，光刻设备1台，刻蚀设备21台，薄膜沉积25台，工艺检测7台，CMP 6台，热处理11台，清洗设备1台，涂胶显影4台。
从招标企业来看，上海积塔新增设备招标59台，华虹半导体新增设备招标27台，上海华力新增设备招标1台，新昇半导体新增设备招标10台，无锡光子芯片联合研究中心新增设备招标7台。值得一提的是，无锡光子芯片联合研究中心公开采购1台接触式曝光机。
中标方面，集微网根据招标平台数据整理统计，2023年1月，北方华创、中微公司、盛美上海、华海清科、应用材料、KLA等企业合计中标331台设备，数量接近2022年四季度（357台）中标总和。其中，光刻设备1台，刻蚀设备5台，薄膜沉积9台，工艺检测37台，离子注入2台，CMP 19台，热处理12台，清洗设备10台。
国内设备厂商合计中标248台设备。其中，北方华创共中标9台设备，包含1台高密度等离子体刻蚀机；中微公司共中标3台设备，其中为江城中试提供1台高密度等离子体刻蚀机；盛美上海共中标2台设备；拓荆科技共中标2台设备；中科飞测共中标3台设备；华海清科共中标2台设备；精测半导体共中标5台设备；开悦半导体共中标1台设备，是为上海积塔提供1台I-line曝光机；睿励科学仪器共中标3台设备。
国外设备厂商合计中标83台设备。其中，应用材料共中标1台设备，是为上海积塔提供1台背面高能量氢离子注入机；KLA共中标5台设备；瑟米莱伯共中标5台设备；ASE共中标5台设备，包含1台应力消除蚀刻机。
受益于各大晶圆厂的不断扩产以及国产化趋势进程，国内半导体行业设备需求不断增加，使得国内设备厂商2022年的经营业绩进一步得到增长。
其中，根据各大厂商的业绩预告显示，营业收入突破百亿元的分别是北方华创和晶盛机电。北方华创预计2022年营业收入135亿元至156亿元，同比增长39.41%至61.10%；晶盛机电预计2022年营业收入101.34亿元至113.26亿元，同比增长70%至90%。同比增速超过90%的分别是华海清科和拓荆科技。华海清科预计2022年营业收入15.3亿元至16.95亿元，同比增长90.09%至110.59%；拓荆科技预计2022年营业收入16.5亿元至17.2亿元，同比增长117.69%至126.92%。
本月重点企业动态
晶圆厂方面，近期，吉利科技集团与积塔半导体签订战略合作协议，双方将共建国内首家汽车电子共享垂直整合制造（CIDM）芯片联盟；华大半导体旗下上海积塔半导体与农行上海市分行等8家银行签署银团协议，银团成员将为上海积塔汽车芯片生产线项目提供总额超过百亿元的银团贷款；华虹半导体拟成立12英寸晶圆制造合营企业，注册资本增至40.2亿美元；燕东微12英寸线2023年实现量产；杭州富芯12英寸模拟集成电路芯片生产线项目（一期）具备竣工规划确认条件。
设备厂商方面，近期，北方华创台马基地（N7）项目主体结构封顶；盛美半导体设备研发与制造中心厂房A封顶；华海清科在接受机构调研时表示，公司减薄产品预计 2023 年会有小批量出货，湿法设备已应用于公司晶圆再生生产；微导纳米发布公告称，与通威太阳能（彭山）有限公司签署了设备销售合同，拟向彭山通威销售全自动ALD钝化设备及PE-Poly设备，合同金额总计45180万元；芯源微临港研发及产业化项目主体结构封顶；上海精测研发总部落成，第100台半导体前道量检测设备交付；北京烁科中科信开年新签整机累计达11台，合同总额突破2亿元；泛林集团宣布裁员1300人。（校对/韩秀荣）