光刻机是芯片制造过程必不可少的设备之一，其重要性在于决定着芯片制程的先进程度。7nm以下制程必须要用EUV，7nm以上的14nm、28nm等制程需要用DUV。
EUV只有ASML能够生产，已被禁止出货给中企。如今DUV也被盯上，美方一直在拉拢日、荷共同实施限制。近日，ASML正式确认：新规达成！中芯国际竟早有准备。
ASML确认新规达成
美方之所以拉拢日、荷，主要是因为芯片制造用的前道光刻机，目前只有3个国家4家企业能够生产，分别是：荷兰ASML，日本的尼康和佳能，我国的上海微电子。
EUV光刻机，只有荷兰ASML一家能够生产。DUV又分为ArFi、ArF、KrF三种，ArFi浸没式光刻机除了ASML，尼康也能生产，而佳能和上海微电子只能生产低端的。
ArFi可用于生产45-7nm制程的芯片，所以美方限制DUV光刻机才会拉上日、荷。
去年10月份，美方收紧芯片限制措施，计划限制14nm及以下先进的芯片制造设备出口。美方虽然有三大半导体设备巨头，但光刻机却不擅长，于是开始跟日、荷沟通。
日方一向积极配合，重点是荷兰方面，起初荷兰态度也非常强硬，表示不会照搬美方限制。近日，三方又就限制设备出口问题进行了沟通讨论，据说已经达成了协议。
对此，ASML正式确认，据了解政府之间已经达成协议，不过具体实施还需要时间。
中芯国际竟早有准备
三方达成协议的目的，自然是为了限制向我们出口先进的芯片制造设备，其中就包括ASML、尼康和东京电子等厂商的设备。其实，最关键的还是ASML的DUV光刻机。
目前，我国先进的晶圆制造企业有三家进入到全球前十名，分别是排名第五的中芯国际、第六华虹集团和第九合肥晶合集成。尤其中芯国际，DUV光刻机需求量最多。
近两年， 中芯国际连续投资建了4个28nm成熟制程厂。不过，中芯已经早有准备。
首先，中芯国际早就续签协议。光刻机因为非常复杂，制造时间也很长，交付期一般在1年半到两年时间左右。因此，为正常到货，都需要提前一两年就跟ASML预订。
中芯国际既然要大举扩产建厂，自然也需要提前预定DUV光刻机这个最重要的设备。
为此，中芯国际在去年初，就跟ASML续签了价值12亿美元的协议，大概率就是预定DUV。DUV光刻机4千万美元一台，如果12亿美元都是DUV的话，那将是30台。
其次，中芯国际已经预付资金。不仅续签了协议，中芯国际还提前预付了设备订购的资金。前段时间，多个半导体制造商纷纷削减资本支出，而中芯国际却提高支出。
对此，中芯国际联合CEO赵海军还进行说明，2022年资本支出从50亿美元上调至66亿美元，主要是为多条12英寸新产线准备，要支付长交期设备提前下单的预付款。
光刻机是所有设备中支出占比最高的，提高的16亿美元支出中光刻机肯定占比不少。
再者，ASML应该会加速出货。ASML近日才表示，DUV可以正常出货给中企。在协议达成后，还特别指出具体实施应该要在数月之后，并且对2023年营收影响不大。
这意思相当于表示，在限制实施之前应该可以完成对中芯国际的DUV光刻机交付。
美方实施芯片禁令，一般都会有个缓冲期。之前，让台积电停止给华为代工芯片，就给了120天缓冲期，利用这个时间加速给华为生产了不少芯片，ASML应该也可以。
虽然中芯国际不可能预先知道，美日荷三方会达成协议，但限制一直存在，当然也会提前未雨绸缪。因此，中芯国际才会早早续签协议、预付定金，争取早日获得DUV。
另外，ASML总裁近日还发出警告，美方一味实施限制，只会加速中企突破，生产出跟ASML匹敌的光刻机。再说，上海微电子一直在加速攻坚，国产28nm光刻机也快了！