集微网消息，5月5日，科创板上市委公告称，沈阳富创精密设备股份有限公司首发获通过。
据悉，富创精密是国内半导体设备精密零部件的领军企业，也是全球为数不多的能够量产应用于7纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。公司主要产品应用的半导体设备覆盖集成电路制造中刻蚀、薄膜沉积、光刻及涂胶显影、化学机械抛光、离子注入等核心环节，部分产品已应用于制造先进7纳米制程的前道设备中。除半导体设备外，公司产品也应用于制造显示面板、光伏产品的泛半导体设备及其他领域。
从产品端来看，富创精密主要为半导体设备、泛半导体设备及其他领域的精密零部件，主要包括工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路等。
富创精密主要财务指标（图源：富创精密招股书）
工艺零部件主要是半导体设备中晶圆制备工艺的关键零部件，少量应用于泛半导体设备及其他领域。该类产品一般需要经过高精密机械制造和复杂的表面处理特种工艺过程，具备高精密、高洁净、超强耐腐蚀能力、耐击穿电压等特点。工艺零部件一般用于刻蚀设备、薄膜沉积设备、离子注入设备和化学机械抛光设备等。富创精密主要工艺零部件产品包括腔体、内衬和匀气盘等。
结构零部件应用于半导体设备、面板及光伏等泛半导体设备和其他领域中，一般起连接、支撑和冷却等作用，对平面度和平行度有较高要求，部分结构零部件同样需要具备高洁净、强耐腐蚀能力和耐击穿电压等性能。富创精密的结构零部件代表性产品包括托盘轴、铸钢平台、流量计底座、定子冷却套和冷却板等。
2021年1-6月，富创精密产品具体包括工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路四大类。报告期内，按产品类别公司主营业务收入构成，工艺零部件占比20.1%，结构零部件占比43.05%，模组产品占比20.58%，气体管路占比16.27%。
根据招股书披露，报告期内，富创精密已进入东京电子、HITACHI High-Tech和ASMI等全球半导体设备龙头厂商供应链体系。同时，基于半导体设备国产化趋势，富创精密也积极开拓境内市场，产品已进入包括北方华创、屹唐股份、中微公司、拓荆科技、华海清科、芯源微、中科信装备、凯世通等主流国产半导体设备厂商，保障了我国半导体产业供应链安全。
而目前，国内规模较大的半导体设备精密零部件厂商主要为中国台湾地区的京鼎精密和日本Ferrotec等外资企业的境内子公司，其主要为国际半导体设备厂商供货。富创精密这一国产设备大厂的加入，可谓极大促进了本土半导体设备供应链的安全可控。
（校对/xiao wei）