总部设在德国的卡尔蔡司,是一家迷人的公司,它为世界上一些最酷的系统,制造镜头和光学器件,但一个系统能够蚀刻像细菌一样小的图案时,已经超越了简单的镜头,所以我们称它们为光学系统,这些庞大的多组件系统,是ASML价值数百万美元的光刻机最核心的部分,没有它们,ASML就无法制造出,给台积电,三星或英特尔的机器。

在这段视频中,我们将继续深入研究半导体行业的关键供应商,看看ASML最密切的合作伙伴之一,光学系统的制造商,让高能紫外线光蚀刻晶圆的,一家拥有迷人历史的公司,卡尔蔡司,这家公司和它的历史,在网络上有相当详细的记载。

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卡尔蔡司由德国科学仪器制造商,在1846年创立的,公司就是一他的名字命名,他生于1816年,是12个兄弟姐妹中的一个,他出生在一个工匠家庭,1846年,建立了一个显微镜工作室,该工作室的业务包括修理大学设备,制作显微镜,并出售科学仪器,如眼镜片和温度计等,他的作坊在他的严格照料下做得很好,并很快扩大了规模。

1866年,蔡司招募了恩斯特阿巴,一位来自珍娜大学的二十六岁的杰出物理学家,阿巴对光线在显微镜镜片中的运动的见解,帮助公司超越了粗糙的试错制造,使其在竞争对手面前占得先机,蔡司在1888年去世,而公司继续发展,阿伯特接手后,发展了一系列新的业务线,让公司的发展变得更加多样化,蔡司进入了测量仪器相机镜头,双筒望远镜等领域,这种多样化帮助公司成长,并在1800年的动荡中幸存下来。

到了第一次世界大战,该公司开始生产军事光学产品,如双筒望远镜潜望镜和枪支瞄准器,他们是当时世界上最大的相机制造商,80%的收入来自军用产品,也许这并不是创始人的初衷,但许多公司都是这样的,蔡司死后,阿伯特从卡尔森手中购买公司的唯一所有权,然后他把所有权转让给现在的卡尔-蔡司基金会,然后他把各种社会改革,如健康保险养老金,写进了基金会的指导方针,利润分享平等和雇用决定,加班费和九小时工作制,基金会没有所有者或股东。

但阿伯特不想创建一个非营利组织,相反,他想保证公司在他死后能继续存在,而且它的员工可以参与到它的经济成就中,公司被告知要为长期的经济成功进行优化,任何多余的利润都将投入到珍娜市的劳动人口中,所以更像是一个合作社,而不是一个慈善机构,将高科技公司比作合作社,相信大家此前闻所未闻,因为此外我们听到的最多的就是农业合作社,在十九世纪三十年代,纳粹党试图在基金会内部设置一个代表,尽管多次拒绝,但是还是妥协了,基金会董事会成员成为纳粹党的名义成员以换取独立。

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第二次世界大战结束时,美国军队于1945年首次抵达并占领了珍娜市,但很快就不得不撤走,因为该市属于苏联的势力范围,作为将领先的德国科学家,置于美国控制之下的政策的一部分,美国人很快就将该公司的,一百三十名高级技术人员和管理人员赶走,他们将被重新安置在西德的过科恩市,因为董事会成员在战争期间是纳粹党员,所以这些科学家们也不排斥,这些关键人物将独自去重建工厂和公司,起初,公司有希望保持团结,但后来在1947年,苏军运走了94%的基础设备,以及他们的300名员工,这些人后来帮助建立了基辅品牌的相机。

在接下来的几十年里,这两家公司分别经营,提供相同的产品,并在海外法庭上展开海外的商标争夺,最终,在十八年后,两者将市场分成两半,并同意不在对方的一半市场中使用蔡司商标,他们仍然可以经营他们的公司,只是不使用设备名称,西德的副部会在东部集团国家使用uptown这个名字,东德的副手们在西方集团国家,使用了一个叫做off,jenna的东西,由于他们各自的情况,这两家公司一开始都是一无所有,但多年来仍然蓬勃发展,尤其是蔡司珍娜成为东德的旗舰公司,多样化地进入新的领域,如军事技术空间技术和半导体。

德国统一后,蔡司珍娜发现自己陷入困境,他们与西方的兄弟有大量的重叠,但由于失去了关键的苏联军事市场,在经济上处于不利地位。,这是一个经济动荡的时代,东德的工业产出比前一年下降了51%,300万东德人将失去他们的工作,西德的公司为东德的公司提供最好的零件,两者又进行多年的谈判,东德的部分传统蔡司公司的业务和名字,如显微镜,医疗仪器等将被西德部分收购,剩余的一个6800名雇员的公司,改名为遗传学,经营半导体、激光光学和自动化,起初它面临着破产的危险,但后来政府出面购买了80%的资产,成功挽救了该公司。

1998年,该公司进行了4亿美元的首次公开募股,至今表现良好。,今天,卡尔-蔡司仍然是一个庞大的公司,他们有四个部分,包括工业质量和研究医疗技术,消费市场和半导体制造,这些不同的部门为不同的行业提供光学系统,如消费眼镜,汽车,医疗手术和测量机斜面显微镜,卡尔-蔡司在研发上花了很多钱,2020年达到8.12亿欧元,占他们整个收入的13%。

在本视频的其余部分,我们将重点介绍他们的半导体制造部门的产品,卡尔-蔡司smt,世界上很大一部分微芯片,都是用人工智能技术制造的,该公司是卡尔-蔡司A,G公司的合资企业,它拥有多数股份,ASML自己拥有24.9%的股份,根据他们的年报,该公司的核心产品,是ASML制造的光刻扫描仪和步进器的核心光学器件,深紫外光刻技术使用193纳米,或248纳米范围内的紫外光线,该公司已经建立了近百年的深紫外成像系统,早在1874年,卡尔阿巴本人曾提出过显微镜使用紫外光的可能性,直到1899年,该公司才得以开发出适合紫外线显微镜的石英透镜。

在1960年代,该公司开始利用其显微镜技术,来制造用于微型光刻的镜头,这是第一次出现这样的镜头,微型光刻技术要求在一个相对较大的空间内,非常严格地控制光线的扭曲,一个透镜是不够的,所以把多个较小的透镜组合在一起,创造出一个巨大的光学器件,看上去很有趣的凸起结构减少了场曲率,这是一个常见的光学问题。只在画面中的某个区域内,不可能同时都是清晰的焦点。

这在平版印刷中意味着,如果你试图在太大的区域内投射设计,场的曲率会因为不够清晰,在帧的区域内造成不准确,在整个19世纪80年代和19世纪,Ice从他们的显微镜工作中借用和混合新的技巧,以适应行业的变化,并提高他们能够投影到晶圆上的分辨率,然后在2000年,新兴光刻技术的发现,使得分辨率的提高取得了新的突破,以前的摄影技术在晶圆和步进器之间,有一个空气间隙,浸入式光刻技术用水取代了这一点,所以现在你是通过水向硅射出紫外光。

台湾科学家柏林首次提出,并验证了用于半导体的方法,该技术允许边界蚀刻小至四十纳米的结构,极端紫外线光刻技术是半导体制造的下一步,它是一项颠覆性技术,用于今天的尖端工艺,事实上,它使用的是一种全新的波长,需要对光学系统进行很多彻底的改变,关键问题是,所有可用的材料都能吸收高能量的紫外光。

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包括空气本身,紫外线不可能通过镜片,蔡司不得不制作一个,完全由多层镜面组成的光学系统,蔡氏在1995年启动了一个微型曝光工具,首次开始研究其紫外线光学系统,你可以把它看成是最终工具的缩小版,与加利福尼亚州的劳伦斯利弗莫尔国家实验室,和伯克利实验室合作,他们在2003年交付了第一个原型。

在接下来的几年里,他们继续对设计进行五次改进,在2015年,第一个全场uv光学系统star,list,310,被交付给ASML使用,star,list是一个多组件系统,由采集器光学元件和光圈照明光学元件,激进和投影光学元件组成,首先,来自紫外光源的光线打到收集器上,收集器收集后通过中焦的光圈,将光线投射到照明器上,照明器将光线均匀地散开,被均匀照亮的光线反射到包含冰片设计的矩形上,最后投射到晶圆上,3100开创了光学系统的先河,其核心机制后来进一步得到了完善,如star,list,3300,3400,今天,它成为了在七纳米,或更低的工艺节点中的一个关键部分。

卡尔-蔡司拥有许多其他部门,参与了许多事情,在这个视频中,我只关注半导体制造所涉及的方面,但其他方面的设想也非常值得研究,在2020年,半导体部门的收入为18亿欧元。,同比增长了12%,而集团其他部门由于大流行病的影响,收入有所下降,今天,它贡献了集团业务的30%,在德国工业中具有关键的战略意义,该集团独特的所有权结构,以一种不常见的方式将其与社区联系起来,作为与ASML一起的重要战略伙伴,该公司基本上是唯一的同类企业,日本的尼康和佳能是ASML最接近的竞争对手,为他们的光刻设备制造自己的光学系统,不过,显然如今还无法和蔡司相比。