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ASML首台全新极紫外光刻机已交货

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行业快报 2021-07-21 16:38

阿斯麦ASML方面表示,EUV (极紫外光) 光刻业务: 第一台NXE:3600D已出货给客户。相较于前一代产品,NXE:3600D的生产力提高15%到20%,且套刻精度(overlay)也提高 30%。ASML正增加EUV在存储产业的量产应用,并将计划协助三个 DRAM 客户实现在未来的制程节点中导入EUV。

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ASML首台极紫外光刻机已交货

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