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关于EUV的进展突破

制造业是基础,而芯片制造在全球半导体行业中更是重中之重。掌握先进芯片制造技术的台积电,三星稳占领先地位,只不过二者生产的芯片设备几乎都来自荷兰ASML公司。尤其是EUV光刻机,除了ASML之外,没有第二家公司能够提供。

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EUV光刻机是制造高端芯片的核心设备,到了7nm及以下的芯片工艺制程,都需要用上EUV光刻机才能确保生产,并保障芯片的良率。可是这么先进的设备,国外并不允许向中国大陆出口。

在美国的阻碍下,ASML即便想做中国EUV光刻机市场的生意,也心有余而力不足,因为EUV光刻机有90%的先进零部件都是ASML从国外进口。这些技术掌握在国外手中,其中包含大量的美国技术,ASML也无法顺利向特定客户市场出货。

所以中国必须自己研发相应的技术,来实现自给自足。而关于EUV光刻机的研发,中科院也突破了EUV技术,在光源系统上有一定的研究进展。中科院公开宣布要入局光刻机,解决光刻机等技术领域的攻关。

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另外,上海微电子也在28nm有深入的部署,业内传来将要在2021年年年底交付一台28nm光刻机的消息。如果再加上清华大学的SSMB光源研究,也能在高端EUV光刻机领域实现应用。

ASML开始行动

种种来看,中国都在全力研究光刻机技术,不管是成熟工艺的28nm还是高端制程的EUV光刻机,都没有放弃。

只要坚持,就一定能迎来回报。一旦中国实现光刻机的自给自足,恐怕就不需要依赖国外进口了。可是面对中国这么大的半导体市场,ASML会舍得失去吗?答案是不会。

ASML一直都在参与中国市场的发展,和多家大陆芯片制造商建立合作关系。除了EUV光刻机之外,其余的设备都可以顺利向中国大陆出货。既然EUV光刻机无法出售至中国大陆,那就加大成熟工艺或者中端的光刻机出货量。

其中ASML对28nm制程的光刻机紧急降价,这么做的目的恐怕是为了在国产光刻机取得量产之前,占据国产芯片供应链生产线。一方面ASML光刻机有更好的质量保障,降价销售后必然会有大量的企业采购。

另一方面可以抢先一步国产光刻机进入到生产线,国产企业会选择便宜,稳定的ASML光刻机,还是会采购刚刚取得量产,良率尚不明确的国产光刻机呢?答案一目了然。

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中国芯的最好时刻

ASML在下一盘大棋,试图用更便宜的光刻机抢占中国市场份额。但是可能要让ASML失望了,中国光刻机,中国芯片迟早会实现替代化,取得自主技术的全面突破。一连串的喜讯不断传来,业内认为国产28nm,14nm芯片将在今年和明年底实现量产。

而国产28nm光刻机也终会迎来交付的日子,可以看得出中国芯将迎来百年变局。在外界的压力下,中国芯反而加快成长的速度。

这或许是中国芯的最好时刻,历史上还从未有过同时在芯片人才、设备、制程、材料等诸多半导体领域取得重大进步。

ASML说过,不把光刻机卖给中国,中国三年内就会突破这项技术。这或许也是为什么ASML要紧急降价销售光刻机的原因,再不卖光刻机到中国,随着中国对一系列技术的突破,取代ASML,实现自给自足并非遥不可及。

总结

光刻机号称是人类工业史上的皇冠,短期内想要达到ASML的EUV光刻机量产水准恐怕不太现实。但是中国光刻机会不断积累,中科院的入局,清华大学的研究和上海微电子的整机装备都是国产光刻机的强力后援。

中国芯正经历百年变局,光刻机也会迎来巨大的突破,期待在国产科研人员的努力下,取得更多的进展。

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