全球的光刻机巨头们早就窥视我国市场多年,以前我们的半导体芯片技术落后,就算有先进的光刻机也制造不出高端芯片,因为芯片制程工艺同样重要,是工程师长期的经验摸索积累出来的。

ASML

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今天,我们的技术上去了,中芯国际14nm制程工艺也比较成熟了,但是美国却给我们来个断供,禁止向我国出口14nm制程以下技术和设备。

这是西方对我们的又一次围追堵截,然而更可怕的是他们不给我们自力更生的机会,因为荷兰光刻机巨头ASML也在围堵我们之列,正在想办法破坏我们光刻机自主研发,而且很早就在布局围堵我们。

ASML光刻机制造的芯片

我们常常听说苹果、诺基亚、三星、爱立信、华为等等互相有专利官司,就是因为某一方在自己的产品上使用了另一方的专利,导致官司不断,不是赔钱就是禁售,结果都很惨烈。

同理,如果ASML在我国申请大量的光刻机专利,而我国的自主国产光刻机能否绕过去?以我看,肯定绕不过去。作为全球光刻机巨头,EUV光刻机是100%的垄断,没有其他国家能制造出来,因为这是全球40多个发达国家的技术结晶,如果还是传统的研发方向,必须掏买路钱,交给ASML专利费。

ASML专利申请情况,最早在2011年

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ASML专利

ASML早就在中国布局,在深圳设立了研发中心,而且申请了不少专利。有网友在国家知识产权局的网站上查了一遍,不查不知道,一查吓一跳,光ASML申请的专利就达到了212页,专利申请数量有2113项。

当然,申请的专利是可以让我们使用的,是公开的,只要掏钱,能得到授权就行。但大多数技术是不会申请专利的,属于绝密,只有参加研发的一些重要人员才知道,而这些无主的技术才是最大的壁垒。

因此,我们可以看出,ASML在中国市场早就布局了专利池和护城河,想绕过去绝对做不到,想生产自己的光刻机也得ASM授权,完全是我们中国光刻机研发企业的紧箍咒。

知识产权

当然,我们的光刻机制造企业也有大量的专利,比如上海微电子据说有3200项专利,但是作为后来者,有可能在交叉授权时存在成色不足的问题,对ASML没有多大制约。

还有镜头技术我们也没有彻底解决,德国的卡尔蔡司镜头是ASML公司EUV光刻机的生命线,其拥有的光学专利比ASML还多,更是难以逾越的高墙。

不过,这还不算完,ASML后续动作已经来了。

专利布局还在继续,倾销或许马上开始。

据ASML公布的2021年第一季度财报显示,一季度ASML共向我国大陆出口11台光刻机,至此中国大陆已经成为ASML的全球第三大市场,占全球总销量的15%,而韩国是44%,台湾省是43%。看起来还不错,但卖给我国的都不是EUV光刻机,甚至DUV都不多,不过这也是可以预见的,美国绝对不会向我们提供EUV。

ASML近五年出货情况

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今年3月,ASML同中芯国际签订了一份12亿美元采购订单,将向中芯国际提供光刻机,不过大概率还是落后制程光刻机,比如KrF光刻机(光源波长为248nm,DUV波长为193nm,EUV波长为13.4nmnm,)等,根本不是EUV。

但是可以肯定的是,ASML将会大量地对我国出货低端光刻机,其目的不但是占领我国的市场那么简单,我认为是倾销,目的就是打击我们的自主光刻机。现在好不容易上海微电子将来要推出28nm制裁光刻机(目前是90nm),但是如果面对ASML的大量低价出货,我们的自研企业将无法获取利润。

最恨的是,台积电也很配合,要投资187亿人民币扩建南京28nm生产线,如果都投资28nm生产线,这让上海微电子的28nm光刻机将来卖给谁?

上海微电子光刻机展台

这种做法不但毁掉了我们的光刻机市场,也用低端制程芯片打压我们的国产芯片,这简直是一箭双雕,何其毒也。

面对ASML的专利护城河,我们必须想办法攻克,不能在掏授权费的同时还要面对他们的光刻机和芯片倾销,这样损失太大,我们没有时间消耗了,所以,我们可以以反垄断为手段,强制让这些专利无效。

还有对于EUV光刻机,我们不要奢望美国能解禁,这是压制、剥削和围堵我们的最好武器,美国不会白给我们。虽然,我们缺芯片,需要更大的产能,但是我们也不能让西方毫无节制地破坏我们的自主产业,所以我们还得自主研发,争取突围成功,搞出属于我们的光刻机和芯片,打破西方技术讹诈。

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