说起光刻机,很多人都不会陌生,它是制造芯片最核心的工具,少了它芯片就无法生产出来。然而,作为一个制造业大国,中国在光刻机的技术上却非常落后,一直处于被卡脖子的状态。目前,全球技术最先进的光刻机制造商是荷兰的ASML,它也是规模最大的一家。

ASML业务遍布全球各地,进入中国市场也超过了30年,占据了其全球市场份额20%。中国市场的重要性不言而喻,但是ASML出售给中国的光刻机却是中低端产品,最先进的EUV光刻机却始终不卖给中国。

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3月3日,中国最大的芯片制造商中芯国际宣布和ASML签下12亿美元(约人民币78亿),让很多人兴奋不已,以为这次买了光刻机,再也不会被卡脖子了。然而,ASML却说:“此次采购中不涉及先进的EUV设备。”

EUV光刻机是全球最先进的光刻机设备,只有ASML才有,处于垄断地位。本来早在2018年4月,中芯国际就已经下单要订购一台EUV光刻机,荷兰连出口许可证都发了。然而,美国却从中阻拦,不断给荷兰施压,最终这笔交易就被扼杀了。

直到2021年3月,荷兰依旧没有把EUV光刻机卖给中国,这意味着我们的芯片将停留在7纳米工艺制程。而拥有EUV光刻机的台积电,却可以生产5纳米及以下工艺制程的芯片。这样一来,中芯国际和台积电的差距始终很大。

当然,影响更大的还是华为,台积电停止了合作,华为的手机芯片就会落后于其他手机厂商,那华为销量必定会大幅下滑。这也是为什么将荣耀出售的原因,至少能够保住一个品牌。

实际上,ASML是很愿意将EUV光刻机卖给中国,毕竟有钱谁不愿意赚呢。不过,ASML还是很赚钱的,2020年营收达到了1100亿元人民币,净利润达到279亿元。总共卖出了258台光刻机,算下来平均一台4.26亿元。去年第四季卖了6台EUV光刻机,订单金额86亿元,平均每台价格高达14亿人民币。

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作为世界科技强国的美国和日本,竟然没有掌握最先进的光刻机技术,反而让荷兰这个小国占据优势,这到底是怎么回事呢?ASML这么厉害,还得从它的发展历史来探究。

ASML是由飞利浦创立,并在1984年独立出来。飞利浦是全球最大的电子制造商之一,背靠这样一棵大树,技术底子还是很厚的。不过,在最初发展的20年里,ASML都是默默无闻的,可以说是名不见经传。光刻机的核心技术都在日本的佳能和尼康手里,彼时他们是市场老大。

ASML的崛起离不开台积电,当年台积电想生产浸润式光刻机,却被尼康和佳能拒绝,最后选择了和ASML合作共同研发。当浸润式光刻机出来后,技术比日本的干式光刻机更好,随后ASML订单大涨,在2007年就成为了全球光刻机市场的霸主,2009年又拿下了全球70%的市场份额,日本在光刻机上至此落后。

当然,ASML并没有止步不前,反而是高歌猛进。在2012年收购了美国Cymer公司,这家公司发明了如今半导体制造中最关键的光刻技术所需的深紫外(DUV)光源,收购后,大举进入EUV的研发。另一方面,英特尔、三星和台积电这三家公司向ASML公司投资38.5亿欧元,占股23%。其中,三家分别持股15%、3%、5%。

技术和资金都有了,ASML加快了EUV光刻机的研发,终于在2015年造出了可量产的样机。随后,ASML收获了大量的订单,业绩不断攀升。2019年卖出26台EUV光刻机,2020年又卖出了31台。

作为ASML的股东,EUV光刻机出来后,首先受益的当然是英特尔、三星和台积电。据了解,EUV光刻机有近一半卖给了台积电,剩余的被三星和英特尔买走。截止到目前,中国大陆一台EUV光刻机都没有。

投资ASML不但让英特尔、三星和台积电掌握了最先进的光刻机技术,在芯片发展上带来了很大的助力,还让他们赚得盆满钵满。这几年ASML业绩不断上涨,其股价也不断提高,这三家公司纷纷出售股份获利,英特尔所持有的股份不足3%,另外两家所剩无几。

据了解,目前ASML的最大股东是美国的资本国际集团,第二大股东是美国的贝莱德集团,也就是说第一和第二大股东都是美国公司。在这样的背景下,美国想施压这家公司很容易。所以,EUV光刻机什么时候才能卖给中国,也是一个未知数。