放眼全球光刻机制造领域,荷兰ASML是当之无愧的第一巨头;阿斯麦占据超过全球70%的高端光刻机市场,最先进的EUV光刻机一台卖价高达上亿元,且供不应求,因为在高端光刻机市场全球仅阿斯麦一家。

打开网易新闻 查看更多图片

光刻机基本制造原理

光刻机的作用原理有点像投影仪,首先由光刻设备投射的光源通过带有图案的掩模投射出来,经过透镜或镜子将图案聚焦在晶圆上。不过投射之后形成的形状不是平面的而是立体的,通过蚀刻曝光或未受曝光的部分来形成沟槽,然后再进行沉积、蚀刻、掺杂,架构出不同材质的线路,生出基础轮廓。此工艺过程被一再重复,将数十亿计的MOSFET或其他晶体管建构在硅晶圆上,形成一般所称的集成电路。

中科院有望突破制造瓶颈

中国利用光刻技术制造集成电路芯片的时间,大致应当是在1965年前后,而在2020年下半年,中科院曾公开宣布,要集结全院之力攻克光刻机制造难题,帮助中国企业摆脱卡脖子的命运。

打开网易新闻 查看更多图片

时至今日,中科院虽然没有传出相关好消息,但清华大学却公布了最新的研究成果。据了解,这项成果有望解决光刻机难题,让国产芯片未来可期。2月25日,清华大学工物系教授唐传祥研究组的,一篇有关新型粒子加速器光源“稳态微聚束”的研究论文,被发表在国际权威杂志《Nature》上。

光刻机制造为什么这么难?光刻机的世界只存在赢者通吃。除此之外,长周期投入以及高技术壁垒等都是很多新入局者难以逾越的高山。而目前全球掌握极紫外光源解决方案的只有美国和德国两家,而ASML采用的正是美国的解决方案,一旦国产光刻机实现自研,未来国产芯片将有无限的可能。