时至今日,在光刻机、高端光刻胶等集成电路产业的核心技术上,我国仍高度依赖海外企业。

不过,经过多年来的追赶,国内半导体产业在部分领域也已经有所成就。例如在CMP抛光液和光刻胶去除剂方面,国内企业成功打破海外垄断,该企业正是安集科技。

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公开资料显示,安集科技成立于2006年,主营半导体材料的研发和产业化。

CMP抛光液和光刻胶去除剂,就是安集科技的主要销售产品,这类产品目前被广泛应用于集成电路制造和先进封装领域。

以抛光液业务为例,笔者了解到,现阶段安集科技已经成功实现了抛光液在130-14nm技术节点的规模化销售。

如今被应用于国内8英寸和12英寸主流晶圆产线。而且,安集科技的10-7nm技术节点产品正处于研发过程中。

安集科技在CMP抛光液上取得的成绩,打破了国外对集中国集成电路领域化学机械抛光液的垄断,并实现了进口替代。目前该公司在全球市场中的占有率约为2.4%。

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从市占率上来看,虽说安集科技助力中国在该领域具备了自主供应能力,但公司在规模和技术上,距离海外大厂仍有较大差距。

同样,在光刻胶去除剂上,安集科技也正处于逐步崛起的状态。笔者了解到,目前国内高端光刻胶去除剂仍以进口为主,而垄断全球市场的是美国的Versum、Entegris等厂商。

不过,安集科技已经在加紧研发,14nm技术节点后端蚀刻残留物去除剂正处于研究阶段。

而且,2009年,安集科技的光刻胶去除剂就已经开始向中芯国际、华虹宏力、长江存储等客户稳定供货。

综合来看,安集科技还没有具备与国际大厂一战之力,但安集科技毕竟刚刚成立14年。在研发上,安集科技已经很努力。

数据显示,安集科技在2020年H1研发投入3500万元,同比增长27.33%。值得注意的是,多年来安集科技的研发费用率一直稳定在18%以上,远超上海新阳等行业竞争者。

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此外,截止2018年12月31日,安集科技已经成功拿到190项授权专利,这些专利均为发明专利。在金属表面氧化等技术上,安集科技达到了国际先进水平。

以安集科技对核心技术研发的高度重视,以及国家的大力支持,笔者相信,国产半导体关键材料终有一天会实现从进口到出口,从跟跑到领跑。

文/谛林?审核/子扬 校对/知秋