荷兰ASML公司的财报显示,2019年,公司一共销售了26台EUV光刻机,营收高达31.43亿美元。因此,一台EUV光刻机的价格约为1.2亿美元,相当于人民币7.8亿

然而,有一种机器的价格甚至比光刻机还要贵一点,这种机器叫做“蒸镀机”。在2017年,日本一家公司制造的蒸镀机能卖到1.4亿美元的价格(人民币9.2亿元),其价值逼近10亿。这家日本公司名叫Canon Tokki,并且其年产量差不多只有9台,大部分卖给了韩国的三星和LG公司。因此,蒸镀机的价值极高,甚至有价无市。

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大多数人应该不了解“蒸镀机”,但是很多人知道OLED屏幕。除了手机芯片,OLED屏幕也是重要的组件,目前华为、三星和OPPO手机使用的都是OLED屏幕。而制作OLED屏幕就离不开蒸镀机,它可以使OLED材料蒸镀成膜,然后制成发光器件。蒸镀机的制作工艺是相当复杂的,因此,蒸镀机相当于屏幕界的“光刻机”。

然而,日本的Canon Tokki公司一直垄断着蒸镀机行业。2018年以前,日本佳能Tokki是OLED蒸馏设备的主要制造商,市场份额高达90%。并且Canon Tokki公司制造的蒸镀机基本卖给了韩国三星和LG公司。所以在OLED方面,中国也被卡住了脖子。

但是这种情况消失了,目前中国也能生产蒸镀机了。值得一提的是,我国有3家企业攻克了蒸镀机技术,这3家企业是合肥欣奕华公司、中山凯旋公司以及合肥莱德公司。

合肥欣奕华公司最先攻破了蒸镀机技术,它也是这三家公司里实力最强的。欣奕华研发团队开发的蒸镀机对位系统,能够把对位精度控制在1.5um之内。此外,对于OLED蒸发源的关键核心技术,欣奕华公司也已经掌握,并且开始实现量产。同时,在长时间蒸发稳定性、蒸镀厚度均匀性、膜层分子结构稳定性等技术指标上,欣奕华蒸镀机也达到国际领先企业的水平。当然,中山凯旋与合肥莱德公司制造的蒸镀机,各项指标也达到了国际先进水平。

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现在我国出现了三家能制造OLED蒸镀设备的企业,这打破了日本长期以来的垄断。我国的蒸镀机将逐渐投入市场,这会带动很多行业,中国的科技也会越来越强大。