光刻机市场规模虽然不算大,但是光刻机的地位却相当高。在晶圆制造产线中,光刻机占比27%,是最重要的高投入型设备。当前,全球有三大光刻机巨头:ASML、尼康与佳能。而在中国,也有一个光刻机巨头正在快速崛起。

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这家巨头便是上海微电子。光刻机的技术门槛极高,在2002年才入场的上海微电子面对着的是难以突破的技术封锁。为此,直到2009年12月,上海微电子首台先进封装光刻机产品SSB500/10A才正式交付用户,可见其发展之不易。有了第一次突破之后,上海微电子接下来的发展速度要快了许多。

到2012年,上海微电子的先进封装光刻产品还第一次销往了海外,发展进程再进一步。虽然,上海微电子至今仍与ASML之间有着难以跨越的鸿沟,毕竟二者之间仅成立时间便差了18年。但是上海微电子的出现为我国光刻机领域带来希望,随着上海微电子逐渐发展壮大,有望改变我国光刻机领域落后的现状。

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目前,上海微电子于低端光刻机领域有所发挥,据悉,在低端光刻机领域占比为40%。当前上海微电子最高光刻机技术已经达到90nm。但这与已经突破14nm光刻机技术的尼康相比都有着明显的距离,更何况是位于业界顶尖的ASML。因此,上海微电子想要在业界拥有更多的话语权,道阻且长。

好在上海微电子并不会轻易放弃,其自成立之时,便将技术创新视为重中之重。上海微电子建立了从产品预研、设计、制造等全过程的技术创新与知识产权保护的制度程序与管理组织体系。据官网显示,到2020年3月,上海微电子已拥有3200项直接持有专利与专利申请。

如今,上海微电子正逐渐形成自己的技术优势。同样值得注意的还有其不错的出货量,据芯思研究院公布的数据显示,在2019年,上海微电子的出货超过50台,令人瞩目。有数据显示,上海微电子在中国光刻机市场占比近80%,是我国真正的光刻机巨头。

光刻机所需元器件繁多,制造难度大,仅靠上海微电子一家难以发展。好在,上海微电子有光刻机双工件台厂商华卓精科等的共同努力,才能达到如今的成就。未来,期待上海微电子能更进一步。