除光刻机、刻蚀机外,在芯片制造过程中,还有一种不可或缺的设备,那便是化学机械抛光(CMP)设备。同刻蚀机等一样,CMP设备研制难度不小、工艺较为复杂,因此长期来,中国CMP设备市场有大片空白,只能依赖进口。

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但好在,华海清科的出现成功打破了海外的垄断。

2013年,天津市政府与清华大学共同成立华海清科,旨在实现中国CMP设备与技术产业化。CMP技术结合了化学作用与机械作用,CMP设备设备主要用于对铜金属层进行抛光,在芯片制造过程中起着必不可缺的作用。

经过一番角逐,目前全球CMP设备设备市场中,已经形成了美国应用材料与日本荏原两大巨头垄断的局面,该领域近90%的份额,都在二者手中。而中国企业在CMP设备领域,没有话语权。

经过多年的发展,这家低调的半导体巨头已经成功掌握了CMP技术。华海清科推出的产品,被长江存储、英特尔、长鑫存储等用在了生产线中。

今年7月份,华海清科更是宣告,CMP国产设备在单一客户中芯国际生产晶圆突破百万片。据悉,在2015年,华海清科便与中芯国际建立了合作关系,多年来二者合作不断紧密。

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多年来国产CMP设备在中芯国际量产,也不断突破新高。可以看出,中国CMP设备行业正在快速发展。

目前,华海清科共出货43台CMP设备,并有在手订单26台。其中,华海清科所生产的300系列产品,一台的价格更是买到了1925万元。

更值得注意的是,华海清科是我国唯一做到了12英寸系列CMP设备量产销售的厂商。12英寸CMP设备是业界衡量研发技术水平的标杆产品。这也就表示,华海清科的技术已经达到了一定的高度。

近来,华海清科即将奔赴IPO。10月15日,其科创板申报材料已经获得了上交所的受理。据了解,华海清科价预计募集将近10亿元,用于高端半导体设备产业化项目、研发项目等。

华海清科作为中国半导体设备巨头,本次奔赴上市自然引起了不小的关注。但从华海清公布的招股书中可以看出,华海清科的业绩有着不小的挑战。

多年来,华海清科产品仍处于小批量销售阶段,加之持续的研发投入,多年来公司扣除非经常性损益后净利润为负数。其中,2017到2019年分别为-3858.09万元、-6783.67万元与-4772.33万元。

可以看出,华海清科产业化程度,还有待进一步提升,还有着很长的路要走。

文/BU 审核/子扬 校正/知秋