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近段时间以来，由于我国对半导体的需求高涨，对用于生产半导体的设备也出现了旺盛的需求。在此背景下，日本半导体制造企业也抓住了这一机遇，积极向我国供应相关设备。
据日经中文网10月20日报道，日本大型泵产品制造商——荏原将在中国增设用于半导体生产的泵的维修保养基地。荏原社长浅见正男表示，在中国增设的是半导体生产工序中使用的“干式真空泵”的维修保养服务基地。
泵在严酷的条件下使用，老化速度很快，需要半年左右拆开1次，进行清洗和更换零件。目前中国只有在上海有一个维修保养基地，这远远无法满足为我国半导体厂商提供服务，因此，荏原计划将维修保养基地扩大到其他地区。
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据荏原透露，得益于中国对半导体设备的需求，该公司今年前6个月半导体相关业务的订单额同比增加34％，达到700亿日元（约合人民币44.3亿元）。此外，荏原预计，接下来受中国需求的拉动作用，下半年该公司业绩仍会保持坚挺。
报道指出，中国半导体厂商推进包括材料在内的国产化，今后可能会有更多的中国厂商向日本设备和材料制造商洽购。据TechWeb10月20日消息，日本半导体制造装置协会（SEAJ）日前发布报告称，9月日本半导体制造设备销售额达1937亿日元（约合人民币122.6亿元），同比增长8.7％。
要知道，日本半导体设备销量大增与我国的需求同样离不开干系。据日经中文网9月28日报道，受中国推进半导体国产化的影响，8月日本产半导体制造设备的销售额同比增长17.3％，达到1884亿日元。
值得一提的是，今年4月至6月，中国时隔3个季度再次成为日本产设备的最大市场。对此，日媒分析认为，包括日本企业之内，接下来可能会有更多的半导体厂商寻求扩大在中国市场的份额。
文 | 林妙琼 题 |徐晓冰 图|卢文祥 审 |廖力思