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公开数据整理显示,预计2020年全球半导体设备市场规模达到526.9亿美元。在半导体设备中,光刻机因为技术门槛高,且处于半导体领域顶端,所以在半导体整个产业链中占据了重要的地位。

目前,全球高端光刻机市场主要被荷兰的ASML、日本的尼康和佳能占据。这三家厂家尤其是ASML,几乎握住了全球各大半导体企业的命脉。

那经过这么多年发展,我国有没有光刻机厂家?

答案是有的,比如有“光刻机第一股”之称的华卓精科,以及今天要给大家介绍的上海微电子。

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资料显示,上海微电子(简称SMEE)始创于2002年,主要致力于半导体装备、泛半导体装备和高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。产品被广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板等制造领域。

芯思想研究院(ChipInsights)的2020年最新数据表明,去年上海微电子出货预估在50+台,基本和前一年持平。而且出货的光刻机主要集中在先进封装、LED、FPD领域。

此外,上海微电子占据全球光刻低端市场40%的份额,国内市占率更是高达80%(注意,这两个数据笔者没有找到相对可靠的来源,存疑)。如果这一数据得到进一步验证,那么上海微电子无疑是国内第一的光刻机巨头。

时间回到18年前,上海微电子刚刚成立的时候,全球高端光科技市场基本被ASML垄断,再加上该领域门槛很高。要是门槛不高,也不至于全球光刻机厂商就那么几家。

因此,上海微电子要想发展起来,打破海外的技术封锁,是一件非常困难的事。事实上也是如此,公司整整用了7年时间才将首台先进封装光刻机产品SSB500/10A交付给用户。

在之后的发展过程中,该公司继续埋头苦干,继续研发产品。截止目前,其拥有SSX600系列、SSB500系列、SSB300系列、SSB200系列四个系列的光刻机产品,主要用以IC前道制造、IC后道先进封装、TFT曝光、LED制造等。

更重要的是,经过18年的辛苦研发,上海微电子直接持有各类专利及专利申请超3200项,这些专利设计光刻机、激光与检测、特殊应用类等各大产品技术领域。

众所周知,在高科技商业应用领域,谁拥有更多的专利谁就有更大的话语权,在光刻机行业尤为如此。而掌握的众多专利的上海微电子,其发展前景是相当可观的。凭借这样的实力,其成功入选《寻找中国制造隐形冠军(上海卷)》。

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今年6月份,上海微电子宣布将在2021年-2022年交付第一台28nm工艺的国产沉浸式光刻机。而这是其跨越好几代技术,从90nm工艺直接突破到28nm工艺。这样的跨越式发展是值得称赞的。

不过,ASML目前的工艺已经达到7nm甚至是5nm。与之相比还有很大的差距,上海微电子还有很长的路要走。

笔者认为,在当前局势下,上海微电子等国产光刻机巨头身上的担子很重,只有在光刻机制程上赶上先进水平,我国在半导体领域才更有话语权,而不会像现在这样被人拿捏。因此,无论是上海微电子还是华卓精科,它们的未来都值得去期待。