ASML供应商突遭火灾 明年初EUV光刻机交货将延期

超能网12-04 09:51 跟贴 125 条

最近中科院研发成功紫外超分辨光刻机的消息刷屏了,使用365nm波长就能实现单次曝光最高线宽分辨力达到22nm,这个技术水平在光刻机中是很了不起的,做到了SP表面等离子体超衍射光刻机的极致,而且价格只有1000-2000万元,不过中科院的SP光刻机并不能取代ASML的光刻机,二者的用途并不一样,晶圆厂制造半导体芯片依然离不开ASML的光刻机。

今天台积电、三星等公司要心惊一下了,因为ASML光刻机交货遇到问题了,ASML元件供应商Prodrive突遭大火,导致部分生产线及库存被毁,将影响2019年初ASML光刻机的交付日期,不过今年内的ASML光刻机交付不受影响。

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来自路透社的消息称,ASML周一宣布其供应商Prodrive上周六遭遇火灾,摧毁了Prodrive公司部分生产线及库存,ASML公司正在寻找其他供应来源,并帮助Prodrive尽快重启生产。ASML首席执行官兼总裁Peter Wennink在一份声明中表示:“我们希望Prodrive的管理层和员工在恢复生产过程中一切顺利,并尽可能地为他们提供支持。”

供应商遭遇火灾导致产能及库存受损,这对ASML的光刻机交付也会产生影响,ASML公司表示今年内的光刻机交付不会有任何变化,需要几周时间来评估这次危机对他们业务的整体影响。随后ASML更新的声明中强调虽然2018年的光刻机订单交付没问题,但是2019年初的ASML光刻机会延期交付,但延期多久上尚无消息。

根据ASML公司早前财报中的消息,Q3季度ASML出货了5台EUV光刻机(1台ASML的EUV光刻机售价在上亿美金),上个季度出货7台EUV光刻机,预计Q4季度出货6台EUV光刻机,全年出货的数量将达到18台,而2019年EUV光刻机预计出货数量达到30台。

ASML的EUV光刻机大客户除了三星、台积电及英特尔之外,国内的中芯国际SMIC今年也订购了一台EUV光刻机,预计会在明年初交付,不过中芯国际订购的EUV光刻机主要用于技术研发,短时间内并没有量产EUV工艺的需求,延期交付对中芯国际的影响并不大。

相比较而言,2019年初延期交付的EUV光刻机对台积电、三星的影响更大,不过这也取决于ASML受到Prodrive火灾的影响有多大,目前具体的灾害损失还没有结果。

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